01、廠務(wù)系統(tǒng)HOOK UP定義

　　HOOK UP 乃是藉由連接以傳輸UTILITIES使機臺達(dá)到預(yù)期的功能。HOOK UP是將廠務(wù)提供的 UTILITIES ( 如水,電,氣,化學(xué)品等),經(jīng)由預(yù)留之UTILITIES連接點( PORT OR STICK),藉由管路及電纜線連接至機臺及其附屬設(shè)(SUBUNITS)。

　　機臺使用這些 UTILITIES,達(dá)成其所被付予的制程需求并將機臺使用后,所產(chǎn)生之可回收水或廢棄物(如廢水,廢氣等),經(jīng)由管路連接至系統(tǒng)預(yù)留接點,再傳送到廠務(wù)回收系統(tǒng)或廢水廢氣處理系統(tǒng)。HOOKUP 項目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL，SEISMIC ，VACUUM，GAS， CHEMICAL D.I ，PCW，CW，EXHAUST，ELECTRIC，DRAIN.

　　02、　GAS HOOK-UP 專業(yè)知識的基礎(chǔ)認(rèn)識

　　在半導(dǎo)體廠，所謂氣體管路的Hook-UP(配管銜接)以BuckGas(一般性氣體如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等)而言，自供氣源之氣體存貯槽出口點經(jīng)主管線(MainPiping)至次主管線(Sub-MainPiping)之TakeOff點稱為一次配(SP1Hook-up)，自TakeOff出口點至機臺(Tool)或設(shè)備(Equipment)的入口點，謂之二次配(SP2Hook-up)。

　　以SpecialtyGas(特殊性氣體如：腐蝕性、毒性、易燃性、加熱氣體等之氣體)而言其供氣源為氣柜(GasCabinet)。自G/C出口點至VMB(Valve Mainfold Box.多功能閥箱)或VMP(Valve Mainfold Panel多功能閥盤)之一次測(Primary)入口點，稱為一次配(SP1Hook-up)，由VMB或VMP Stick之二次側(cè)(Secondary)出口點至機臺入口點謂之二次配(SP2Hook-up)。